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Design and Fabrication of a Large Vertical Travel Silicon Inchworm Microactuator for the Advanced Segmented Silicon Space Telescope

机译：用于先进分段硅空间望远镜的大型垂直行程硅Inchworm微致动器的设计与制作

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Eui-hyeok (eh Yang*a; Richard Dekanyb; Steve Padinb;
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年度 2015
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